過氧化氫等離子滅菌體系滅菌進程為雙循環滅菌，分四個階段[5]：準備期，**滅菌期，*二滅菌期，以及較后通風期。過氧化氫滅菌器滅菌體系的作業進程

(1)真空期是滅菌進程的**階段(1托即1Torr(torr)=lmmHg=1．33322×lOZPa)，腔內壓力經過抽真空降到700毫托，進入等離子階段，這時腔內壓力被控制在500毫托，短循環10分鐘，長短循環15分鐘，水分蒸騰并經過真空泵抽出腔外，有助于將物品表面或內部的殘留濕氣驅除干凈。15分鐘后通風閥打開，經過過濾的空氣進入腔體，當壓力到達大氣壓時，真空泵再次作業，將腔內壓力降低到0．4托。然后進入*二階段，也即**滅菌期。

(2)**滅菌期分打針階段、分散階段、等離子階段。首先打針針頭刺穿含濃度為59％過氧化氫的膠囊，由于腔內已抽為高真空，過氧化氫*汽化并充分分散，這一進程過氧化氫已有對生物組織的致死作用。膠囊坐落卡盒中，每盒含十個膠囊，能夠完成五個消毒滅菌周期，卡盒的方位和打針由軟件控制和監測，打針進程繼續6分鐘。然后經過過濾的空氣進入腔內(短循環2分鐘，長循環10分鐘)，使得過氧化氫分散到腔內各個角落以及被滅菌器械的表面。真空泵再次將腔內壓力由760托降到0．5托，進入等離子階段，腔內被載入繼續兩分鐘的射頻，產生輝光放電，過氧化氫衍生出等離子體，它能干預和損壞微生物的生成，一旦射頻中止，等離子氣就轉換為無害的水汽和氧氣。較后真空泵再次將壓力從0．5托降低到0．4托，進入*三階段，也即*二滅菌周期。

(3)*二滅菌周期和**滅菌周期完全相同，等離子階段完畢后，進入*四階段，通風階段。

(4)在通風階段，進氣閥打開，經過過濾的空氣進入腔內，壓力回到大氣壓力，滅菌進程完畢。整個滅菌進程繼續55分鐘，長循環72分鐘。